4. レーザー用ガス

 エキシマレーザーにはフッ素や垢化水素のような腐食性ガスが使用される。一方、CO。レーザーには、C02,N2,Heの他にC0を添加した装置もある。このように、ガスレーザーの取扱いに当たっては、次のような有毒ガスに関する安全事項を守らなけれぱならない。

(1) 横倒しにならないようにガスボンベを固定する。
(2) 腐食性、毒性ガスのポンベ弁を開けるのは危険が伴うので、レーザーに充填しているときだけとする。
(3) 真空ポンプとレーザーの排気口を、適当な排気装置または排気口につなぐことで部屋の中にガスがもれないようにする。
(4) 設置場所内のよく見える所で、すぐに取れるような場所に適当なガスフィルターのついた保護マスクを置く。
(5) 外部への排出には除毒が必要である。
(6) ガス濃度監視を行う。
(7) これらの安全対策は、地震や停電に対して安全な構造であること。
(8) 高出力の紫外線放射により発生するオゾン、窒素酸化物系ガスの排気手段を設ける。
(9) 室内の換気に特に注意する。